X熒光光譜儀屬于先進(jìn)的分析檢測(cè)儀器，隨著半導(dǎo)體微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展，傳統(tǒng)的光學(xué)、熱學(xué)、電化學(xué)、色譜、波譜類(lèi)分析技術(shù)都已從經(jīng)典的化學(xué)精密機(jī)械電子學(xué)結(jié)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)人工操作應(yīng)用模式，轉(zhuǎn)化成光、機(jī)、電、算（計(jì)算機(jī)）一體化、自動(dòng)化的結(jié)構(gòu)，并向智能化、小型化、在線(xiàn)式及儀器聯(lián)用方向發(fā)展。

　　X熒光光譜儀分析方法是一個(gè)相對(duì)分析方法，任何制樣過(guò)程和步驟必須有非常好的重復(fù)操作可能性，所以用于制作標(biāo)準(zhǔn)曲線(xiàn)的標(biāo)準(zhǔn)樣品和分析樣品必須經(jīng)過(guò)同樣的制樣處理過(guò)程。X 射線(xiàn)熒光實(shí)際上又是一個(gè)表面分析方法，激發(fā)只發(fā)生在試樣的淺表面，必須注意分析面相對(duì)于整個(gè)樣品是否有代表性。此外，樣品的平均粒度和粒度分布是否有變化，樣品中是否存在不均勻的多孔狀態(tài)等。樣品制備過(guò)程由于經(jīng)過(guò)多步驟操作，還必須防止樣品的損失和沾污。

　　X熒光光譜儀能夠?qū)ι钪胁煌匦纬傻母魇礁鳂拥膶?dǎo)體及非導(dǎo)體材料進(jìn)行分析。那么X熒光光譜儀在檢測(cè)分析時(shí)采用了哪些定律呢？

　　1、莫塞萊定律

　　莫塞萊定律是反應(yīng)各個(gè)元素X射線(xiàn)特征光譜規(guī)律的一種實(shí)驗(yàn)定律，依靠莫塞萊定律進(jìn)行分析的方式也是可靠的方法之一。X熒光光譜儀在對(duì)材料進(jìn)行分析時(shí)也會(huì)使用到這一定律，在分析時(shí)光譜儀能夠?qū)?nèi)層電子的躍遷產(chǎn)生的、表明X射線(xiàn)特征的光譜和原子序數(shù)一一對(duì)應(yīng)起來(lái)，從而獲得分析結(jié)果。

　　2、布拉格定律

　　該定律是一種可以反映晶體衍射基本關(guān)系的理論推導(dǎo)定律，同時(shí)，布拉格定律是光譜儀所使用的分光原理，在進(jìn)行材料檢測(cè)分析的時(shí)候能夠讓不同元素不同波長(zhǎng)的特征X熒光*分開(kāi)，使譜線(xiàn)處理工作變得非常簡(jiǎn)單，降低儀器檢出限。

　　3、比爾-朗伯定律

　　比爾-朗伯定律是反應(yīng)樣品吸收狀況的定律，涉及到理論X射線(xiàn)熒光相對(duì)強(qiáng)度的計(jì)算問(wèn)題。X熒光光譜儀采用這一定律進(jìn)行檢測(cè)分析時(shí)，樣品可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線(xiàn)，需要將混合的X射線(xiàn)按波長(zhǎng)分開(kāi)，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)的X射線(xiàn)強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析。